1990 合肥工业大学化学系 高分子专业学士学位

1995 中国科学技术大学  高分子化学硕士学位

2000 中国科学技术大学  核技术及应用博士学位

主要从事集成电路制造工艺技术研究，微细加工技术研究，MEMS 技术研究。从事新型 X 射线光刻胶及下一代光刻技术工艺的研究，硕士论文题目为《新型 X 射线光刻胶的研制》，博士论文题目为《利用同步辐射的微细加工技术》，在同步辐射（X 射线）光刻及微细加工领域作过多年应用技术研究。

担任国家自然基金委信息领域， 863 先进制造领域主题评审专家，国家首批科技创新领军人才入选者，享受国务院津贴。曾参与或者主持过二十多项国家自然基金、863 计划、973 计划、科技攻关、国家集成电路重大专项等课题等。2003 年获得北京市科技进步一等奖，2014 年获得中科院杰出成就奖，现任中科院微电子研究所副所长兼任中科院物联网研究发展中心副主任。